Koelwettersysteem

　　It proseskoelwettersysteem bestiet út de folgjende dielen: chillers, pompen, waarmtewikselers, wettertanks, filters en prosesapparatuer.

　　 Wetter chiller: Soargje foar kâlde boarne foar koelwettersysteem.

　　Wetterpomp: druk it wetter om har sirkulaasje yn it koelsysteem te garandearjen.

　　 Waarmtewikseler: Brûk dizze apparatuer om waarmte te wikseljen tusken it koelwettersysteem en it koelwettersysteem om de waarmte dy't oan 'e lêst ein fan it systeem ûntstiet oer te bringen nei it koelwettersysteem.Der binne in protte soarten waarmtewikselers, dy't kinne wurde ferdield yn shell-en-tube type, plaat type, plate-fin type, waarmte pipe type, ensfh neffens harren foarm.Yn ferliking, de plaat waarmte Exchanger hat de foardielen fan in lytse foetôfdruk en in grut waarmte oerdracht gebiet.Sjoen de kosten skaaimerken fan de romte en gebiet fan;de semiconductor plant, apparatuer mei in lytse footprint wurdt foarkar te besparjen lân gebiet en engineering kosten.

　　Wettertank: De wettertank yn it iepen systeem spilet benammen de rol fan it oanfoljen fan wetterboarne.De wettertank yn it sletten systeem moat in útwreidingswettertank kieze.De útwreiding wetter tank hat trije funksjes.Ien is om de útwreiding en krimp fan it wetter yn it systeem te befetsjen en te kompensearjen;de oare is om in stabile druk te jaan oan it sletten sirkulearjende wettersysteem en spylje in rol yn systeemstabilisaasje;De tredde is as in yndikaasje fan it systeem wetter pomp, meastal de útwreiding tank stjoert in sinjaal om te begjinnen of ôfslute it systeem wetter pomp.

　　 filter: filterje it fêste dieltsje útD'r binne twa relatyf ûnôfhinklike systemen yn it proses koelwettersysteem, gekoeld wetter en koelwetter.It gekoelde wetter wurdt levere troch de koeler, en it gekoelde wetter en it koelwetter wikselje waarmte om it koelwetter te koelen en de temperatuer fan 'e apparatuer te ferminderjen.It wetter wurdt pompt út de produksje apparatuer troch de wetter pomp nei de waarmte Exchanger te garandearjen de temperatuer fan it proses koelwetter troch it kontrolearjen fan de hoemannichte gekoeld wetter, en dan stjoerd nei de produksje line apparatuer nei it trochjaan fan it filter, en dan werom nei de wetterpomp.It formaasjeproses koelwetter sirkulearret ferskate kearen.It gekoelde wetter wurdt direkt werombrocht nei de koeler.